MOCVD-susceptor med TaC-beläggning

VeTek Semiconductor är en ledande kinesisk tillverkare, leverantör och exportör som specialiserat sig på MOCVD Susceptor medTAC -beläggning. Du är välkommen att komma till vår fabrik för att köpa de senaste säljande, låga priserna och högkvalitativa MOCVD-susceptorerna med TaC-beläggning. Vi ser fram emot att samarbeta med dig.

LED-epitaxi står inför utmaningar som kristallkvalitetskontroll, materialval och matchning, strukturell design och optimering, processkontroll och konsistens samt ljusextraktionseffektivitet. Att välja rätt bärmaterial för epitaxiwafer är avgörande, och beläggning av den med tantalkarbid (TaC) tunnfilm (TaC-beläggning) ger ytterligare fördelar.

När du väljer ett epitaxi-wafer-bärarmaterial måste flera nyckelfaktorer beaktas:

● Temperaturtolerans och kemisk stabilitet: LED-epitaxiprocesser involverar höga temperaturer och kan involvera användning av kemikalier. Därför är det nödvändigt att välja material med god temperaturtolerans och kemisk stabilitet för att säkerställa bärarens stabilitet i hög temperatur och kemiska miljöer.

● Ytflathet och slitmotstånd: Ytan på epitaxi -skivbäraren bör ha god planhet för att säkerställa enhetlig kontakt och stabil tillväxt av epitaxi -skivan. Dessutom är slitmotstånd viktigt för att förhindra ytskador och nötning.

● Termisk konduktivitet: Att välja ett material med god värmeledningsförmåga hjälper till att sprida värme effektivt, upprätthålla en stabil tillväxttemperatur för epitaxiskiktet och förbättra processstabilitet och konsistens.

I detta avseende ger beläggning av epitaxskivans bärare med TaC följande fördelar:

● Stabilitet vid hög temperatur: TAC-beläggning uppvisar utmärkt stabilitet med hög temperatur, vilket gör att den kan upprätthålla sin struktur och prestanda under högtemperaturepitaxprocesser och tillhandahålla överlägsen temperaturtolerans.

● Kemisk stabilitet: TAC -beläggning är resistent mot korrosion från vanliga kemikalier och atmosfärer, skyddar bäraren från kemisk nedbrytning och förbättrar dess hållbarhet.

● Hårdhet och slitmotstånd: TAC -beläggning har hög hårdhet och slitmotstånd, stärker ytan på epitaxi -skivbäraren, minskar skador och slitage och förlänger dess livslängd.

● Termisk konduktivitet: TAC -beläggning visar god värmeledningsförmåga, hjälper till i värmeavledningen, upprätthåller en stabil tillväxttemperatur för epitaxiskiktet och förbättrar processstabilitet och konsistens.

Därför hjälper du att välja en Epitaxy Wafer-bärare med en TAC-beläggning att hantera utmaningarna med LED-epitaxi och uppfylla kraven för högtemperatur och kemiska miljöer. Denna beläggning erbjuder fördelar såsom hög temperaturstabilitet, kemisk stabilitet, hårdhet och slitmotstånd och värmeledningsförmåga, vilket bidrar till förbättrad prestanda, livslängd och produktionseffektivitet för epitaxi-skivbäraren.