Kvartsbåt med hög renhet

VeTek Semiconductors High Purity Quartz Wafer Boat är gjord av ultrahög renhet kvarts, som har egenskaperna för låg hydroxylhalt, hög renhet och stark hög temperaturbeständighet. Detta material används också i stor utsträckning inom halvledarindustrin som material för diffusionsugnar och CVD-ugnskomponenter. Som en behållare för att bära kiselwafers, har High purity Quartz boat wafer använts inom halvledar-, solcells-, kemiska och andra områden.

Applikationsscenarier

Först är halvledarfältet. Värmebehandlingsprocessen för skivor är mycket viktigt, inklusive termisk oxidation, diffusion, glödgning, etc. Genom värmebehandlingsprocessen ger vi skivorna nya egenskaper.

Satsugnskärnrör används för processer för bearbetning av halvledarskivor såsom termisk oxidation, högtemperaturdiffusion, glödgning och tunnfilmsavsättning. Batchvärmeugnen används huvudsakligen för att värma ugnskroppen med spolar för att slutföra värmebehandlingen. Enligt de olika arbetsstrukturerna kan satsugnskärnrör delas in i horisontella ugnar och vertikala ugnar:

(1) Den horisontella ugnen med hög renhet i den horisontella ugnen placeras horisontellt, så den kallas en horisontell ugn.

I värmebehandlingsprocessen laddas wafern på High purity Quartz Wafer Boat, långsamt skickas in i kvartsugnsröret, och wafern placeras i en zon med konstant temperatur för bearbetning. Efter att ha väntat på att processen ska slutföras, dras Wafer begagnade kvartsbåt långsamt ut ur kvartsugnen för att förhindra att wafern skadas på grund av plötsliga temperaturförändringar. Horisontella ugnar används i stor utsträckning i diffusionsprocessen av integrerade kretsar med waferdiametrar mindre än 200 mm. 

Fördelarna med horisontella ugnar är enkla processer, god enhetlighet mellan skivor och förmågan att bearbeta flera skivor samtidigt. Nackdelarna är långsam uppvärmningshastighet, stor utrustningsstorlek, svårigheter i automatisering och enkel inträde av yttre luft vid laddning och lossning av skivor.

(2) High Purity Quartz Wafer Boat i den vertikala ugnen är placerad vertikalt, så den kallas en vertikal ugn.

Skivan laddas på kvartstornet och stiger långsamt till kvartsugnsröret för uppvärmning. Under uppvärmningsprocessen kommer High Purity Quartz Wafer Boat långsamt att rotera för att säkerställa att wafern värms upp jämnt. Efter bearbetning kommer kvartstornet långsamt att sjunka för att undvika temperaturförändringar som kan orsaka waferskador. Vertikala ugnar används huvudsakligen i den integrerade kretsprocessen av 200 mm och 300 mm diameter wafers. Kärnteknologin för vertikala ugnar ligger i högprecisionstemperaturfältskontroll, partikelkontroll, mikromiljökontroll av mikrosyre och motorisering. Fördelarna med vertikala ugnar är tunt naturligt oxidskikt, god enhetlighet, enklare automatisering, litet utrustningsfotavtryck och batchbearbetning. Nackdelen är att uppvärmningshastigheten är låg.

Inom det fotovoltaiska området kräver produktionsprocessen för fotovoltaiska celler kvartsbåtar för att bära och transportera kiselskivor i högtemperaturdiffusionsprocessen. Högtemperaturbehandling i ett kväve med hög renhet, syre eller annan inert gasatmosfär, såsom fosfordiffusion eller bordiffusion, är ett viktigt steg i tillverkningsprocessen för solceller. Syftet är att bilda en PN -korsning på kiselskivan.

Kvartsbåten har exakt utformade slitsar inuti för att säkerställa att kiselskivan bibehåller den exakta positionen under högtemperaturdiffusionsprocessen och är jämnt uppvärmd. Eftersom kvartsmaterialet har god motståndskraft mot hög temperatur och kemisk stabilitet, kommer det inte att förorena kiselskivan, vilket bidrar till att upprätthålla en hög renhet i produktionsmiljön.

Som innovatör och ledare inom Kinas skiva använde Quartz Boat Market, oavsett om du är engagerad i halvledarindustrin eller den fotovoltaiska industrin, så länge du behöver skivbåt med hög renhet, vänligen be oss om en offert så kommer vi att kunna skräddarsy det för dig efter dina behov.

VeTek Semiconductor Produktbutiker: