Produkter
Kvartsbåt med hög renhet
  • Kvartsbåt med hög renhetKvartsbåt med hög renhet

Kvartsbåt med hög renhet

Vår kvartsbåt med hög renhet är tillverkad av smält kvarts (SIO₂ -innehåll ≥ 99,99%). Med sitt utmärkta motstånd mot extrema miljöer, låg värmeutvidgningskoefficient och lång livslängdscykel har den blivit en oföränderlig nyckel förbrukningsbar i halvledaren och nya energiindustrin.


Kvartsbåtar med hög renhet är precisionsbärare tillverkade av extremt höga renhetskvartmaterial (SIO₂-innehåll ≥ 99,99%), utformade för hög temperatur, högrenhetsprocesser. Denna enhet är avgörande för processer som glödgning, diffusion, oxidation och kemisk ångavsättning (CVD) och används ofta i halvledare, fotovoltaik och andra fält. Dess kärnfördel ligger i materialets fysiska och kemiska stabilitet.


Ⅰ. Utmärkta fysikaliska egenskaper hos Veteksemicon High-Pity Quartz Boat


Egenskaper
Specifika parametrar/prestanda
Renhet
SiO₂ -innehåll ≥99,99% (4N -klass), metallföroreningar (såsom Na, K, Fe) ≤10 ppm, för att undvika förorening av känsliga processmiljöer.
Hög temperaturmotstånd

Mjukgöringspunkt: ≥1660 ° C (kortvarig tolerans 1700 ° C); 

Kontinuerlig användningstemperatur:1200 ° C (långvarig stabilitet utan deformation)

Termisk expansionskoefficient
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nära noll expansion, utmärkt termisk chockmotstånd.
Kemisk stabilitet
Resistenta mot starka syror (utom HF), starka alkalier (vid rumstemperatur) och resistenta mot frätande gaser såsom H₂ och CL₂ vid höga temperaturer.
Optiska egenskaper
UV-IR-transmittans ≥90% (200 ~ 2500 nm), lämplig för transparenta bärarkrav i litografi och laserprocesser.
Mekanisk styrka

Kompressionsstyrka: ≥1200 MPa

Ythårdhet (Mohs): 7 (högre än vanligt glas)

Ytfin
RA≤0,2 μm, reducerar partikelföroreningar och förbättrar skivutbytet.


Ⅱ. Huvudanvändning och motsvarande produktfördelar med High Purity Quartz Boat


1. Halvledartillverkning:


Specifika användningsområden: Bärarverktyg i skivor högtemperaturdiffusion, oxidation, glödgning och CVD (kemisk ångavlagring).


Produktfördelar:

Ultra-låg förorening: Veteksemicons 99,99% rena skivbåtar undviker metalljonföroreningar och säkerställer chipelektrisk prestanda.

Exakt storlek: Platheten hos kvartsskivbåten är ± 0,05 mm, vilket säkerställer enhetlig uppvärmning av skivan (såsom en 12-tums skivbåt).

Lång livslängd: Enligt de faktiska produktionsdata som vi har registrerat kan kvartsskivbåtarna som vi producerar användas kontinuerligt i mer än 1000 timmar vid 1200 ° C, vilket kraftigt minskar ersättningsfrekvensen (jämfört med vanliga kvartsbåtar ökar livet med 3 gånger).


2. Fotovoltaisk industri


Specifika användningsområden: Inom området för tillverkning av fotovoltaisk industri används vanligtvis kvartsbåtar med hög renhet för kiselskivor i fosfordiffusionen av PERC-celler och bordiffusionsprocessen för topkonceller.


Prestationsfördelar:

Högbelastningsdesign: Den enda båten vi producerar kan bära 200 ~ 300 kiselskivor (tjocklek 160 ~ 180 um), vilket kraftigt förbättrar skivproduktionskapaciteten per tid.

Snabb temperaturökning och fall: Ultra-låg termisk expansionskoefficient (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nära nollutvidgning) stöder en minskning med 10% ~ 15% i processcykeln.

Anti-pid-effekt: Ingen natriumjonutfällning under kiselskivan laddningsprocessen minskar risken för fotoinducerad nedbrytning.


Ⅲ. Kvartsbåtförpackningsspecifikationer


Vetekemicon Quartz-båtar kommer att använda flerskikts täta förpackningar för att säkerställa produktens integritet under lagring och transport.


Samtidigt stöder VeteKsemincon anpassad utökad processdesign, såsom icke-standardstorlek (fel ± 0,1 mm), multilagerstackningsdesign (upp till 5 lager) och hög temperaturbeständig filmbeläggning (såsom SiC-beläggning). Välkommen din ytterligare konsultation.


Hot Tags: Kvartsbåt med hög renhet
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept