Produkter
Kvartsbåt med hög renhet
  • Kvartsbåt med hög renhetKvartsbåt med hög renhet

Kvartsbåt med hög renhet

Vår kvartsbåt med hög renhet är tillverkad av smält kvarts (SIO₂ -innehåll ≥ 99,99%). Med sitt utmärkta motstånd mot extrema miljöer, låg värmeutvidgningskoefficient och lång livslängdscykel har den blivit en oföränderlig nyckel förbrukningsbar i halvledaren och nya energiindustrin.


Kvartsbåtar med hög renhet är precisionsbärare tillverkade av extremt höga renhetskvartmaterial (SIO₂-innehåll ≥ 99,99%), utformade för hög temperatur, högrenhetsprocesser. Denna enhet är avgörande för processer som glödgning, diffusion, oxidation och kemisk ångavsättning (CVD) och används ofta i halvledare, fotovoltaik och andra fält. Dess kärnfördel ligger i materialets fysiska och kemiska stabilitet.


Ⅰ. Utmärkta fysikaliska egenskaper hos Veteksemicon High-Pity Quartz Boat


Egenskaper
Specifika parametrar/prestanda
Renhet
SiO₂ -innehåll ≥99,99% (4N -klass), metallföroreningar (såsom Na, K, Fe) ≤10 ppm, för att undvika förorening av känsliga processmiljöer.
Hög temperaturmotstånd

Mjukgöringspunkt: ≥1660 ° C (kortvarig tolerans 1700 ° C); 

Kontinuerlig användningstemperatur:1200 ° C (långvarig stabilitet utan deformation)

Termisk expansionskoefficient
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nära noll expansion, utmärkt termisk chockmotstånd.
Kemisk stabilitet
Resistenta mot starka syror (utom HF), starka alkalier (vid rumstemperatur) och resistenta mot frätande gaser såsom H₂ och CL₂ vid höga temperaturer.
Optiska egenskaper
UV-IR-transmittans ≥90% (200 ~ 2500 nm), lämplig för transparenta bärarkrav i litografi och laserprocesser.
Mekanisk styrka

Kompressionsstyrka: ≥1200 MPa

Ythårdhet (Mohs): 7 (högre än vanligt glas)

Ytfin
RA≤0,2 μm, reducerar partikelföroreningar och förbättrar skivutbytet.


Ⅱ. Huvudanvändning och motsvarande produktfördelar med High Purity Quartz Boat


1. Halvledartillverkning:


Specifika användningsområden: Bärarverktyg i skivor högtemperaturdiffusion, oxidation, glödgning och CVD (kemisk ångavlagring).


Produktfördelar:

Ultra-låg förorening: Veteksemicons 99,99% rena skivbåtar undviker metalljonföroreningar och säkerställer chipelektrisk prestanda.

Exakt storlek: Platheten hos kvartsskivbåten är ± 0,05 mm, vilket säkerställer enhetlig uppvärmning av skivan (såsom en 12-tums skivbåt).

Lång livslängd: Enligt de faktiska produktionsdata som vi har registrerat kan kvartsskivbåtarna som vi producerar användas kontinuerligt i mer än 1000 timmar vid 1200 ° C, vilket kraftigt minskar ersättningsfrekvensen (jämfört med vanliga kvartsbåtar ökar livet med 3 gånger).


2. Fotovoltaisk industri


Specifika användningsområden: Inom området för tillverkning av fotovoltaisk industri används vanligtvis kvartsbåtar med hög renhet för kiselskivor i fosfordiffusionen av PERC-celler och bordiffusionsprocessen för topkonceller.


Prestationsfördelar:

Högbelastningsdesign: Den enda båten vi producerar kan bära 200 ~ 300 kiselskivor (tjocklek 160 ~ 180 um), vilket kraftigt förbättrar skivproduktionskapaciteten per tid.

Snabb temperaturökning och fall: Ultra-låg termisk expansionskoefficient (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nära nollutvidgning) stöder en minskning med 10% ~ 15% i processcykeln.

Anti-pid-effekt: Ingen natriumjonutfällning under kiselskivan laddningsprocessen minskar risken för fotoinducerad nedbrytning.


Ⅲ. Kvartsbåtförpackningsspecifikationer


Vetekemicon Quartz-båtar kommer att använda flerskikts täta förpackningar för att säkerställa produktens integritet under lagring och transport.


Samtidigt stöder VeteKsemincon anpassad utökad processdesign, såsom icke-standardstorlek (fel ± 0,1 mm), multilagerstackningsdesign (upp till 5 lager) och hög temperaturbeständig filmbeläggning (såsom SiC-beläggning). Välkommen din ytterligare konsultation.


Hot Tags: Kvartsbåt med hög renhet
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies.Sekretesspolicy