EPI-mottagare delar

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

✔ Ansökan: I jakten på ultimat prestanda och utbyte i SiC epitaxiella processer ger Veteksemicon EPI Susceptor utmärkt termisk stabilitet och enhetlighet, och blir ett nyckelstöd för att förbättra prestanda för kraft- och RF-enheter och minska de totala kostnaderna.

✔ Tjänster som kan tillhandahållas: analys av kundapplikationsscenario, matchande material, teknisk problemlösning. 

✔ Företagsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktion, testning och verifieringskapacitet.

Min rival EPI Contractor Part kärnfördelar

1. Säkerställ ultimat enhetlighet

I epitaxiprocesser av kiselkarbid påverkar även tjockleksfluktuationer på mikronnivå och dopningsinhomogeniteter direkt prestandan och utbytet av den slutliga enheten. Veteksemicon EPI Susceptor uppnår optimal termisk fältfördelning inom reaktionskammaren genom exakt termodynamisk simulering och strukturell design. Vårt urval av ett substrat med hög värmeledningsförmåga, kombinerat med en unik ytbehandlingsprocess, säkerställer att temperaturskillnader vid valfri punkt på skivans yta kontrolleras inom ett extremt litet område även under höghastighetsrotation och högtemperaturmiljöer. Det direkta värdet detta ger är ett mycket reproducerbart, batch-till-batch epitaxiellt lager med utmärkt enhetlighet, som lägger en solid grund för tillverkning av högpresterande, mycket konsekventa kraftchips.

2. Motstå utmaningen med höga temperaturer

SiC epitaxiella processer kräver vanligtvis långvarig drift vid temperaturer som överstiger 1500°C, vilket utgör en allvarlig utmaning för alla material. Veteksemicon Susceptor använder specialbehandlad isostatiskt pressad grafit, vars böjhållfasthet vid höga temperaturer och krypmotstånd vida överträffar vanlig grafit. Även efter hundratals timmar av kontinuerlig termisk cykling i hög temperatur, bibehåller vår produkt sin initiala geometri och mekaniska styrka, vilket effektivt förhindrar att wafern skaver, glider eller föroreningar i processhåligheten orsakade av brickdeformation, vilket i grunden säkerställer kontinuiteten och säkerheten i produktionsaktiviteterna.

3. Maximera processstabiliteten

Produktionsavbrott och oplanerat underhåll är stora kostnadsdödare vid wafertillverkning. Veteksemicon anser att processstabilitet är ett kärnmått för Susceptor. Vår patenterade CVD SiC-beläggning är tät, icke-porös och har en spegelliknande slät yta. Detta minskar inte bara avsevärt partikelavgivningen under högtemperaturluftflöde utan saktar också avsevärt ned vidhäftningen av reaktionsbiprodukter (såsom polykristallin SiC) till brickytan. Detta innebär att din reaktionskammare kan förbli ren under längre perioder, vilket förlänger intervallen mellan regelbunden rengöring och underhåll, vilket förbättrar det totala utrustningsutnyttjandet och genomströmningen.

4. Förläng livslängden

Som en förbrukningsbar komponent påverkar utbytesfrekvensen av susceptorer direkt produktionskostnaderna. Veteksemicon förlänger produktens livslängd genom ett dubbelt tekniskt tillvägagångssätt: "substratoptimering" och "beläggningsförbättring." Ett grafitsubstrat med hög densitet och låg porositet bromsar effektivt inträngningen och korrosion av substratet av processgaser; Samtidigt fungerar vår tjocka och enhetliga SiC-beläggning som en robust barriär som avsevärt undertrycker sublimering vid höga temperaturer. Tester i verkligheten visar att, under samma processförhållanden, uppvisar Veteksemicons susceptorer en långsammare prestandaförsämringshastighet och en längre effektiv livslängd, vilket resulterar i lägre driftskostnader per wafer.

5. Godkännande av verifiering av ekologisk kedja

Min rival EPI Susceptor Parts ekologiska kedjeverifiering täcker råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområden.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.

Huvudapplikationsområden

Min rival produkter lager