Produkter
CVD Sic Focus Ring
  • CVD Sic Focus RingCVD Sic Focus Ring

CVD Sic Focus Ring

Vetek Semiconductor är en ledande inhemsk tillverkare och leverantör av CVD SIC Focus Rings, dedikerade till att tillhandahålla högpresterande produktlösningar med hög tillförlitlighet för halvledarindustrin. Vetek Semiconductors CVD Sic Focus Rings använder avancerad kemisk ångavsättning (CVD) -teknologi, har utmärkt hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet och värmeledningsförmåga och används ofta i halvledar litografiprocesser. Dina förfrågningar är alltid välkomna.

Som grunden för moderna elektroniska enheter och informationsteknologi har halvledarteknologi blivit en oundgänglig del av dagens samhälle. Från smartphones till datorer, kommunikationsutrustning, medicinsk utrustning och solceller förlitar sig nästan all modern teknik på tillverkning och tillämpning av halvledarenheter.


Eftersom kraven för funktionell integration och prestanda för elektroniska enheter fortsätter att öka, utvecklas och förbättras också halvledarprocesstekniken. Som kärnlänk i halvledarteknologi bestämmer etsningsprocessen direkt strukturen och egenskaperna hos enheten.


Etsningsprocessen används för att noggrant ta bort eller justera materialet på ytan på halvledaren för att bilda önskat struktur och kretsmönster. Dessa strukturer bestämmer prestanda och funktionalitet för halvledarenheter. Etsningsprocessen kan uppnå precision på nanometernivå, vilket är grunden för att tillverka högpresterande integrerade kretsar (IC).


CVD Sic Focus Ring är en kärnkomponent i torr etsning, främst används för att fokusera plasma för att göra att den har högre densitet och energi på skivytan. Det har funktionen att jämnt fördela gas. Vetek Semiconductor odlar sic -lager med lager genom CVD -processen och får slutligen CVD SIC -fokusringen. Den beredda CVD SIC -fokusringen kan perfekt uppfylla kraven i etsningsprocessen.


CVD SiC Focus Ring working diagram

CVD Sic Focus Ring är utmärkt i mekaniska egenskaper, kemiska egenskaper, värmeledningsförmåga, hög temperaturmotstånd, jon etsningsmotstånd, etc.


● Högdensitet minskar etsningsvolymen

● Hög bandgap och utmärkt isolering

● Hög värmeledningsförmåga, låg expansionskoefficient och värmechockmotstånd

● Hög elasticitet och god mekanisk slagmotstånd

● Hög hårdhet, slitmotstånd och korrosionsmotstånd


Vetek Semiconductor har de ledande CVD SIC Focus Ring -bearbetningsfunktionerna i Kina. Samtidigt hjälper Vetek Semiconductors mogna tekniska team och säljteam oss att ge kunderna de mest lämpliga fokusringsprodukterna. Att välja Vetek Semiconductor innebär att samarbeta med ett företag som har åtagit sig att driva gränserna förCVD -kiselkarbid innovation.


Med en stark betoning på kvalitet, prestanda och kundtillfredsställelse levererar vi produkter som inte bara uppfyller utan överskrider de stränga kraven från halvledarindustrin. Låt oss hjälpa dig att uppnå större effektivitet, tillförlitlighet och framgång i din verksamhet med våra avancerade CVD -kiselkarbidlösningar.


SEM -data från CVD SIC -film

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning
Egendom
Typiskt värde
Kristallstruktur
FCC ß -faspolykristallin, främst (111) orienterad
SIC -beläggningstäthet
3,21 g/cm³
SIC -beläggningshårdhet
2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
Kornstorlek
2 ~ 10mm
Kemisk renhet
99.99995%
Värmekapacitet
640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Böjhållfasthet
415 MPA RT 4-punkt
Youngs modul
430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
Termisk konduktivitet
300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Det halvledareCVD SIC Focus Ring Products Shops:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: CVD Sic Focus Ring
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept