Aluminiumoxid keramik

1. Utmärkta isolerande egenskaper: 

Keramisk aluminiumoxid har hög resistivitet och utmärkta isolerande egenskaper, kan effektivt isolera och skydda halvledaranordningar, förhindra aktuell läckage och störningar i kretsen för att säkerställa utrustningens stabilitet och tillförlitlighet.

2. Utmärkt hög temperaturmotstånd: 

Aluminiumoxidkeramik kan arbeta stabilt i miljöer med hög temperatur och kan vanligtvis tåla temperaturer på hundratals grader Celsius, vilket är mycket viktigt för halvledarutrustning som kräver lång tid hög temperatur drift av komponenterna.

3. God kemisk stabilitet: 

Keramisk aluminiumoxid har god kemisk tröghet, syra och alkali och andra kemikalier har en hög resistens mot korrosion, vilket gör det i halvledartillverkningsprocessen inte är lätt att kemiskt eroderas, för att upprätthålla den långsiktiga stabiliteten i utrustningen och livslängden.

4. Utmärkta mekaniska egenskaper: 

Trots att det är ett keramiskt material har keramisk aluminiumoxid också relativt hög mekanisk styrka och hårdhet och kan motstå en viss grad av fysisk påverkan och stress, vilket är särskilt lämpligt för halvledarutrustningskomponenter som kräver hög precision och hög stabilitet.

5. Bra bearbetbarhet och precision: 

Keramik i aluminiumoxid kan formas, sintras och bearbetas till komplexa former och exakta storlekar på komponenter med hög ytfinish, lämplig för tillverkning av halvledarutrustning i paketunderlaget, isoleringsskiktet och andra nyckelkomponenter.

Tillämpningarna av Veteksemicons aluminiumoxid keramiska material inom sol- och halvledarindustrin inkluderar främst:

1. Kavitetsskyddsmaterial

Aluminiumoxidkeramik har utmärkt kemisk stabilitet, termisk stabilitet, mekaniska egenskaper och elektriska egenskaper, vilket gör aluminiumoxid keramik effektiv som skyddande material för att skydda utrustning från kemiska, termiska, mekaniska och elektriska skador, vilket säkerställer långvarig stabil drift och effektiv drift av utrustningen.

2. Plasmautrustning

Keramik i aluminiumoxid har utmärkt hög temperaturbeständighet, kemisk stabilitet, elektrisk isolering och goda mekaniska egenskaper, så de används allmänt som strukturella material och skyddsmaterial i plasmautrustning för att säkerställa stabil och tillförlitlig drift av utrustning i komplexa arbetsmiljöer.

3. Wafer -poleringsprocess

Keramisk aluminiumoxid har hög hårdhet och god termisk stabilitet och elektrisk isolering, så de är mycket lämpliga som poleringsskivmaterial i skivpoleringsprocesser. Keramisk aluminiumoxid kan skydda skivor från mekanisk slitage och kemisk erosion och därmed förbättra poleringens noggrannhet och stabilitet.