I SiC PVT-kristalltillväxtuppsättningar körs grafitdelar vid mycket höga temperaturer under långa perioder. VeTeks PyC-belagda grafitring är byggd för den typen av uppgifter. Ett pyrolytiskt kolskikt avsätts på högren grafit via CVD. Detta ger delen bättre ytstabilitet och färre partiklar som lossnar under drift. Du brukar placera den i det termiska fältet för att hjälpa till att hantera ångflödet och hur värme sprids inuti ugnen. Beläggningen bromsar även grafitsublimeringen när saker går över 2200°C, vilket gör att hela komponenten håller längre.
● Tät, porfri PyC-beläggning: bildar ett enhetligt, tätt skikt som minskar gaspermeabilitet och partikelförorening under kristalltillväxt. ● Klarar höga temperaturer bra: förblir strukturellt sund i vakuum eller inert gas över 2200°C. ● Mycket hög renhet: tillverkad av renad grafitplus hög renhet CVD, så att föroreningsnivåerna förblir extremt låga. ● Bra värmechockbeständighet: låg termisk expansion innebär att den kräver snabb uppvärmning och kylning utan att spricka. ● Bättre korrosionsbeständighet: håller grafitsubstratet säkert från kemiska angrepp och högtemperatursublimeringskada. ● Längre livslängd: håller mycket längre än obelagda grafitringar, så du behöver inte serva ugnen så ofta.
Pyrolytisk kolbeläggningseffekt under ett 500X mikroskop, med intakt och förseglad yta.
2. Tekniska specifikationer
Punkt
Enhet
Typiskt värde
Kristallstruktur
—
Hexagonal
Inriktning
—
Orienterad eller icke-orienterad längs 001-riktningen
Bulkdensitet
g/cm³
~2,26
Mikrostruktur
—
Polykristallin / Flerskiktsgrafen
Hårdhet
GPa
1.4
Elastisk modul
GPa
11
Typisk beläggningstjocklek
μm
20–110
Ytjämnhet
μm
1.5
Produktens renhet
ppm
≤5 ppm
3. Ansökningar
Den PyC-belagda grafitringen används ofta i:
● SiC enkristalltillväxtugnar (PVT-metoden) ● Termiska fältsystem för tredje generationens halvledare ● Högtemperaturkristalltillväxtisoleringsstrukturer ● ångflödesledningssystem ● Högtemperaturvakuumugnskomponenter Halvledarvärmehanteringssystem
4. VeTek Semiconductor Manufacturing Capability
VeTek Semiconductor fokuserar på avancerade beläggningsmaterial och grafit termiska fältdelar för SiC och andra halvledarapplikationer. Så här gör vi:
● Grafitrening med hög renhet ● Precisions CNC-bearbetning ● Avancerad CVD PyC-beläggning ● Tillverkning av stora termiska fältkomponenter ● Anpassade termiska fältlösningar ● Strikt kvalitetskontroll av halvledarkvalitet. Vi gör även anpassade PyC-belagda grafitdelar baserat på dina ritningar eller ugnskonfigurationer.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies. Sekretesspolicy