Kiselkarbid utsäde Crystal Bonding Vakuum Hot-Press Ugn

SiC-fröbindningstekniken är en av nyckelprocesserna som påverkarkristalltillväxt.VETEK har utvecklat en specialiseradvakuum varmpressugnför fröbindning baserat på egenskaperna hos denna process. Ugnen kan effektivt reducera olika defekter som genereras under fröbindningsprocessen, och därigenom förbättra utbytet och den slutliga kvaliteten på kristallgötet.

Införa

1. Ugnen används för fröbindning innanSiC-kristalltillväxt

2. Det bundna fröet kan förbli stadigt fäst vid en temperatur på 2300 ℃, bibehålla 100 % vidhäftning utan luftbubblor, med hög planhet, ren yta på fröet och inga föroreningar adsorberade

3. Den uppvärmda plattformen har antagit motståndsuppvärmning av spiralskivformad, enhetlig uppvärmningszon, den är säker att använda, lätt att använda

4. Botten av lastplattformen utrustad med kraftsensorer, nedåtkraften på arbetsstycket visas exakt 

Funktionsintroduktion

1. Den vattenkylda metallkammaren i den dubbla väggen minskar den yttre yttemperaturen på ugnens kropp effektivt, minimerar skador vid hög temperatur och minskar påverkan på miljön.

2. Det kan uppnå automatisk ökning av nedkraft och krafthållning, långsam lastkraft och förskjutning kan kontrolleras automatiskt.

3. Diversifierade vakuumkonfigurationer finns tillgängliga, och olika vakuumnivåer kan väljas enligt processen.

4.Enhetligt tryck och hög temperaturkontrollnoggrannhet.

5. Downforce-strukturen antar en exakt mekanisk dragkraftsdesign, vilket säkerställer exakt och stabil downforce, säker användning och miljövänlighet.

6. Dunstämpeln är ansluten till tryckstången på ett "universellt" sätt. Det är säkerställt att när arbetsstycket är undertryckt, är ytan på dunstämpeln under adaptiv parallell med ytan på den uppvärmda plattformen, se till att arbetsstycket bär den enhetliga nedåtkraften.

7. Dunstämpeln har en funktion för att buffra belastningens nedåtkraft, vilket ger en jämn och mjuk nedåtkraft utan stötar, för att förhindra sprickbildning i arbetsstycket.

9. Både den uppvärmda plattformen och nedtrycksstämpeln är utrustade med värmeisoleringssköld för att minska den ineffektiva temperaturförlusten.

Parameter

Särdrag

1. Långsam vakuumpumpning, vakuumpumpningshastighet justerbar

2. Stor kammare, stort uppgraderingsutrymme

3. Dunstämpeln går stabilt och fungerar automatiskt

4. Downforce långsam avlastning och långsam ökning, downforce ramp enligt recept automatisk kontroll

5.Precis programmerad kontroll av temperatur och nedåtkraft

6. Parametrarna för vakuum, downforce och temperatur kan fritt ställas in för att matcha olika bindningsprocesser

7.Bindningen är komprimerad och fri från bubblor

8. Sprickhastigheten är extremt låg, nästan inga sprickor orsakade av utrustningsproblem

9. Kompatibel med fröbindning på 6-12 tum

10.Max. nedåtkraft: 1,6 T

11. Ultimat vakuum ：5 Pa (kallt)

12. Temperaturjämnhet hos den uppvärmda plattformen:＜±3℃，σ<4（200℃）

13. Tryckfluktuation ：<0,5 %