MOCVD SiC-belagd susceptor

Tekniska parametrar

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

Produktdefinition och sammansättning

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor är en förstklassig wafer-bärande komponent konstruerad speciellt för epitaxiell bearbetning av tredje generationens halvledare, såsom GaN och SiC. Denna produkt integrerar de överlägsna fysiska egenskaperna hos två högpresterande material:

Grafitsubstrat med hög renhet: Tillverkad med isostatisk pressteknik för att säkerställa att basmaterialet har exceptionell strukturell integritet, hög densitet och termisk bearbetningsstabilitet.

CVD SiC-beläggning: Ett tätt, spänningsfritt skyddsskikt av kiselkarbid (SiC) odlas på grafitytan genom avancerad kemisk ångavsättningsteknik (CVD).

Varför VETEK är din avkastningsgaranti

Ultimat precision i termisk enhetlighetskontroll: Till skillnad från konventionella bärare, uppnår VETEK-susceptorer mycket synkroniserad värmeöverföring över hela ytan genom nanometerskala precisionskontroll av beläggningstjocklek och termiskt motstånd. Denna sofistikerade termiska hantering minimerar effektivt våglängdsstandardavvikelsen (STD) på waferns yta, vilket avsevärt ökar både kvaliteten på en wafer och den övergripande batchkonsistensen.

Långtidsskydd utan partikelkontamination: I MOCVD-reaktionskammare som innehåller starkt korrosiva gaser är vanliga grafitpiedestaler benägna att flagna av partiklar. VETEKs CVD SiC-beläggning har exceptionell kemisk tröghet och fungerar som en ogenomtränglig sköld som tätar grafitmikroporer. Detta säkerställer total isolering av substratföroreningar, vilket förhindrar all kontaminering av GaN- eller SiC-epitaxialskikten.

Exceptionell utmattningsbeständighet och livslängd:Tack vare VETEKs egenutvecklade gränssnittsbehandlingsprocess uppnår vår SiC-beläggning en optimerad termisk expansionsmatchning med grafitsubstratet. Även under högfrekvent termisk cykling mellan extrema temperaturer bibehåller beläggningen överlägsen vidhäftning utan att flagna eller utveckla mikrosprickor. Detta minskar avsevärt frekvensen av reservdelsunderhåll och sänker din totala ägandekostnad.

Vår verkstad