Urvalsguide

Att välja rätt CVD SiC, TaC-beläggning eller Solid SiC bestämmer direkt partikelnivåer och komponentlivslängd på epitaxi/etsningslinjer. Den här artikeln ger tydliga urvalsgränser efter temperatur, atmosfär och process, matchat med stora utrustningslösningar och nyckeltal, för att hjälpa dig att fatta snabba beslut och minska riskerna.