Solid Sic skivformat duschhuvud

Rollen för det fasta SIC-skivformade duschhuvudet i CVD-processen är att jämnt fördela reaktionsgasen ovanför avsättningsområdet så att gasen kan spridas jämnt i hela reaktorn för att få en platt och enhetlig film.

Det fasta SIC -duschhuvudet är inställt på toppen av CVD -ugnen eller nära gasinloppet. Reaktionsgasen kommer in i den skivformade strukturen genom hålen som är fördelade på duschhuvudet och diffunderar runt längs duschhuvudets yta. Genom flera kanaldesign och jämnt fördelade uttag kan reaktionsgasen flyta jämnt till hela reaktorområdet, undvika koncentration eller turbulens och säkerställa konsistensen hos skikttjockleken som avses på underlaget.

Samtidigt har strukturen för halvledarskivformens duschhuvud också en diffusionseffekt, som effektivt kan minska flödeshastigheten för gasen, så att den kan spridas vid munstycksutloppet och minska effekten av lokala gasflödesförändringar på avsättningseffekten. Det hjälper till att undvika direkt gaspåverkan på underlaget och förhindra problemet med ojämn deponering.

Från materialets perspektiv är det fasta SIC-gasduschhuvudet tillverkat av högtemperaturresistenta, korrosionsbeständigt och höghållfast fast SIC-material med mycket hög stabilitet. Det kan fungera stabilt under lång tid i CVD -ugnen och har en lång livslängd.

Vetek Semiconductor tillhandahåller anpassade tjänster av hög kvalitet. Form- och hållayouten för det fasta SIC-skivformade duschhuvudet kan justeras flexibelt enligt kundens processkrav för att anpassa sig till olika gastyper, flödeshastigheter och avsättningsmaterial. För olika storlekar av reaktorer eller underlagsstorlekar kan skivformade duschhuvud med olika diametrar och hålfördelningar anpassas för att optimera gasfördelningseffekten.

Vetek Semiconductor har mogna processer och avancerad teknik för solid SIC -halvledarduschhuvudprodukter, vilket hjälper ett stort antal kunder att uppnå kontinuerliga framsteg i CVD -processer. Vetek Semiconductor ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Fysiska egenskaper hos fast SIC

Det halvledareSolid Sic Disc-formade duschhuvudproduktionsbutiker