Silikonkarbidbeläggning

Veteksemicons CVD SIC-belagda skivor Susceptor är en banbrytande lösning för halvledarens epitaxiala processer, vilket erbjuder ultralätt renhet (≤100ppb, ICP-E10-certifierade) och exceptionella termiska/kemiska stabilitet för kontamineringsresistent tillväxt av GaN, SIC och Silicon-baserade EPI-layers. Konstruerad med precision CVD -teknik stöder den 6 ”/8”/12 ”skivor, säkerställer minimal termisk stress och tål extrema temperaturer upp till 1600 ° C.

Vår SIC -belagda planetariska Susceptor är en kärnkomponent i den höga temperaturprocessen för halvledartillverkning. Dess design kombinerar grafitunderlag med kiselkarbidbeläggning för att uppnå omfattande optimering av termisk hanteringsprestanda, kemisk stabilitet och mekanisk styrka.

Vår SIC-belagda tätningsring för epitaxy är en högpresterande tätningskomponent baserad på grafit- eller kol-kolkompositer belagda med hög-renhet kiselkarbid (sic) genom kemisk ångavlagring (CVD), som kombinerar den termiska stabiliteten för grafit med den extremt miljöresistensen för Sic och är utformad för semic-ledning), som kombinerar termisk stabilitet för grafit med den extremt miljöresistensen för Sic och är utformad för semic-epitorm), som kombineras, MOCVD, MOCVD, MOCVD, MOTD, MAMS, MABD, MAMS, MABED, MAM MAM MAM MAM MAM MAM MAM MAM MAM MAM MAM MAGE, MAGE).

Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Susceptor är utformad för högpresterande kiselkarbid (SIC), galliumnitrid (GaN) och annan tredje generationens halvledare-epitaxial process och är kärnbärande komponenten i högprecisionens epitaxiala ark i massproduktion. Vitt din ytterligare undersökning.

An important component used in the wafer fabrication etching process is the plasma etching focus ring, whose function is to hold the wafer in place to maintain plasma density and prevent contamination of the wafer sides.Vetek semiconductor provide plasma etching focus ring with different material like monocrystalline silicon, silicon carbide, boron carbide and other ceramic materials.

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av SIC-belagda E-Chucks i Kina. SIC-belagd e-chuck är speciellt designad för GAN-skivor etsningsprocess, med utmärkt prestanda och lång livslängd, för att ge allround-stöd för din halvledartillverkning. Vår starka bearbetningsförmåga gör det möjligt för oss att ge dig den SIC -keramiska signaturen du vill ha. Ser fram emot din fråga.