SiC-belagd grafitsusceptor för ASM

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

✔ Ansökan: Veteksemicon SiC-belagt grafitsubstrat är en viktig förbrukningsvara för ASM-seriens epitaxialutrustning. Den stöder skivan direkt och ger ett enhetligt och stabilt termiskt fält under epitaxi vid hög temperatur, vilket gör den till en kärnkomponent för att säkerställa högkvalitativ tillväxt av avancerade halvledarmaterial som GaN och SiC.

✔ Tjänster som kan tillhandahållas: analys av kundapplikationsscenario, matchande material, teknisk problemlösning. 

✔ Företagsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktion, testning och verifieringskapacitet.

Tekniska parametrar

Min rival SiC-belagd grafitsusceptor för ASM-kärnfördelar

1. Extrem renhet och låg defektfrekvens

Genom att använda högrenhet, specialgrafitsubstrat av finpartikelkvalitet, kombinerat med vår strikt kontrollerade kemiska ångavsättning (CVD) beläggningsprocess, säkerställer vi att beläggningen är tät, fri från hål och fri från föroreningar. Detta minskar avsevärt risken för partikelkontamination under den epitaxiella processen, vilket ger en ren substratmiljö för tillväxt av högkvalitativa epitaxiella skikt.

2. Utmärkt korrosionsbeständighet och slitstyrka

Den pyrolytiska kiselkarbidbeläggningen har extremt hög hårdhet och kemisk inerthet, som effektivt motstår erosion av kiselkällor (som SiH4, SiHCl3), kolkällor (som C3H8) och etsgaser (som HCl, H2) vid höga temperaturer. Detta förlänger basens underhållscykel avsevärt och minskar maskinens stilleståndstid orsakad av komponentbyte.

3. Utmärkt termisk enhetlighet och stabilitet

Vi optimerade den termiska fältfördelningen inom driftstemperaturområdet genom exakt design av substratstruktur och kontroll av beläggningstjocklek. Detta översätts direkt till utmärkt tjocklek och resistivitetslikformighet i den epitaxiella skivan, vilket bidrar till förbättrat chiptillverkningsutbyte.

4. Utmärkt beläggningsvidhäftningsstyrka

Unik ytförbehandlings- och gradientbeläggningsteknik gör det möjligt för kiselkarbidbeläggningen att bilda ett starkt bindningsskikt med grafitsubstratet, vilket effektivt förhindrar att beläggningen flagnar, flagnar eller spricker problem som kan uppstå under långvarig termisk cykling.

5. Exakt storlek och strukturell replikering

Vi har mogna CNC-bearbetnings- och testmöjligheter, vilket gör det möjligt för oss att helt replikera den komplexa geometrin, kavitetsdimensionerna och monteringsgränssnitten hos den ursprungliga basen, vilket säkerställer perfekt matchning och plug-and-play-funktionalitet med kundens plattform.

6. Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Min rival SiC-belagd grafitsusceptor för ASM:s ekologiska kedjeverifiering täcker råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområden.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.

Huvudapplikationsområden

Min rival produkter butik