Kiselkarbidbelagd epi -susceptor

Halvledare Epitaxy hänvisar till tillväxten av en tunn film med en specifik gitterstruktur på ytan av ett substratmaterial med metoder såsom gasfas, vätskefas eller molekylstråle -avsättning, så att det nyligen odlade tunna filmskiktet (epitaxialskiktet) har det Samma eller liknande gitterstruktur och orientering som underlaget. 

Epitaxiteknik är avgörande vid tillverkning av halvledarmaterial, särskilt vid framställning av tunna filmer av hög kvalitet, såsom enkristalllager, heterostrukturer och kvantstrukturer som används för att tillverka högpresterande enheter.

Silikonkarbidbelagd EPI -susceptor är en nyckelkomponent som används för att stödja substratet i epitaxial tillväxtutrustning och används allmänt i kiselpitaxi. Kvaliteten och prestandan för den epitaxiella piedestalen påverkar direkt tillväxtkvaliteten på det epitaxiella skiktet och spelar en viktig roll i den slutliga prestanda för halvledarenheter.

VeTek Semiconductorbelade ett lager av SIC-beläggning på ytan av SGL-grafit med CVD-metoden och erhöll SiC-belagd epi-susceptor med egenskaper som högtemperaturbeständighet, oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet och termisk enhetlighet.

I en typisk fatreaktor har silikonkarbidbelagd EPI -susceptor en fatstruktur. Botten på SIC -belagda EPI -susceptor är ansluten till den roterande axeln. Under den epitaxiella tillväxtprocessen upprätthåller den växlande medurs och moturs rotation. Reaktionsgasen kommer in i reaktionskammaren genom munstycket, så att gasflödet bildar en ganska enhetlig fördelning i reaktionskammaren och bildar slutligen en enhetlig epitaxial skikttillväxt.

Förhållandet mellan massförändringen av SIC -belagd grafit och oxidationstiden

Resultaten av publicerade studier visar att vid 1400 ℃ och 1600 ℃ ökar massan av SiC-belagd grafit mycket lite. Det vill säga, SiC-belagd grafit har en stark antioxidantkapacitet. Därför kan SiC-belagd Epi-susceptor fungera under lång tid i de flesta epitaxiella ugnar. Om du har fler krav eller anpassade behov, vänligen kontakta oss. Vi har åtagit oss att tillhandahålla SIC -belagda EPI -SUSCOTEPOR -lösningar för bästa kvalitet.

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning

VeTek SemiconductorKiselkarbidbelagda Epi-susceptorbutiker