Grafitbåt för PECVD

Ansökan: Veteksemicon grafitbåt för PECVD är en kärnkomponent i den plasmaförbättrade kemiska ångavsättningsprocessen. Den är speciellt utformad för att avsätta högkvalitativ kiselnitrid, kiseloxid och andra tunna filmer på kiselwafers, sammansatta halvledare och displaypanelsubstrat. Dess prestanda bestämmer direkt filmens enhetlighet, processstabilitet och produktionskostnad.

Tjänster som kan tillhandahållas: analys av kundapplikationsscenario, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktion, testning och verifieringskapacitet.

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

Huvudapplikationsområden

Min rival Grafitbåt för PECVD kärnfördelar

1. Substrat med hög renhet som kontrollerar föroreningar från källan

Vi insisterar på att använda isostatiskt pressad högren grafit med en stabil renhet på över 99,995 % som basmaterial för att säkerställa att det inte kommer att fälla ut metallföroreningar även i en kontinuerlig driftsmiljö på 1600°C. Detta stränga materialkrav kan direkt undvika försämring av skivans prestanda orsakad av kontaminering av bärare, vilket ger den mest grundläggande garantin för avsättning av högkvalitativa kiselnitrid- eller kiseloxidfilmer.

2. Exakt termiskt fält och strukturell design för att säkerställa enhetlighet i processen

Genom omfattande vätskesimulerings- och processmätningsdata har vi optimerat båtens spårvinkel, styrspårdjup och gasflödesväg. Denna noggranna strukturella hänsyn möjliggör enhetlig fördelning av reaktiva gaser mellan skivorna. Faktiska mätningar visar att vid full belastning kan enhetlighetsavvikelsen i filmtjockleken mellan skivor i samma sats stabilt kontrolleras inom ±1,5 %, vilket avsevärt förbättrar produktutbytet.

3. Anpassade beläggningslösningar för att hantera specifik processkorrosion

För att möta olika kunders olika processgasmiljöer erbjuder vi två mogna beläggningsalternativ: pyrolytiskt kol och kiselkarbid. Om du huvudsakligen avsätter kiselnitrid och använder vätgasrening kan den täta pyrolytiska kolbeläggningen ge utmärkt motståndskraft mot väteplasmaerosion. Om din process involverar fluorhaltiga reningsgaser, är kiselkarbidbeläggningen med hög hårdhet ett bättre val. Det kan förlänga livslängden på grafitbåten i mycket korrosiva miljöer till mer än tre gånger så lång som för vanliga obestrukna produkter.

4. Utmärkt värmechockstabilitet, anpassningsbar till frekventa temperaturcykler

Tack vare vår unika grafitformel och interna förstärkningsribbor kan våra grafitbåtar motstå de upprepade snabba kyl- och uppvärmningschockerna från PECVD-processen. I rigorösa laboratorietester, efter 500 snabba termiska cykler från rumstemperatur till 800°C, översteg båtens böjhållfasthet fortfarande 90 %, vilket effektivt undviker sprickor orsakade av termisk stress och säkerställer produktionskontinuitet och säkerhet.

5. Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Min rival Graphite-båt för PECVD:s ekologiska kedjeverifiering täcker råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområden.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.