CVD SiC Coating Grafit Delar Rengöring Service

1. Utmaningar du kan ställas inför

• AlN-lager svårt att ta bort:1300°C termisk rengöring kan fortfarande inte effektivt etsa kvarvarande AlN-skikt.

• Återkommande minneseffekt:Ytminneseffekt orsakar instabilt gasflöde i reaktorn, vilket påverkar processkonsistensen.

• Rengöringscykel Impacts genomströmning:Vanligtvis behöver var 16:e processcykel (4–5 susceptorer) extern rengöring.

• Oro för skadlig kostsam beläggning:Brist på egen erfarenhet av kemisk rengöring gör att operatörer tvekar att försöka aggressiv rengöring.

2. Vår lösning – Designad för GaN / AlN / AlGaN-processer

• Professionell städning:Anpassad process speciellt utvecklad för CVD SiC-belagda grafitdelar. Ingen kemisk formel krävs från kunden.

• Beläggningssäkerhet:Skyddar strikt 100 µm CVD SiC-beläggningen. Absolut noll tjockleksförlust efter rengöring.

• Verifierbara resultat:Fullständigt analyscertifikat (COA) som täcker fem kärndimensioner. Data redo för arkivering och kvalitetsrevision.

3. Fem grundläggande acceptanskriterier

Strikt anpassat till de kritiska kraven för användare av halvledarepitaxi:

1. Noll beläggningsförlust– SiC-beläggningens tjocklek reduceras aldrig efter rengöring (verifiering av tjockleksjämförelse före/efter).

2. Ingen ytdeformation– Planhet och geometrisk noggrannhet inspekteras noggrant för att säkerställa ingen fysisk deformation.

3. Eliminera minneseffekten– XPS-analys för Al/Ga-rester bekräftar noggrant borttagande av minneseffektkällor.

4. Noll metallrester– ICP-MS-testning för Fe, Cu, Ni och andra metaller verifierar noll kvarvarande metalliska föroreningar.

5. Inga överskott av partiklar– QIII-partikeltest plus renhetsverifiering förhindrar gasflödesinstabilitet orsakad av restpartiklar.

4. Leveransinspektion & COA-rapport

Varje batch levereras med fullständig verifieringsdata över fem kärndimensioner:

5. Tillämpliga produkter & processbakgrund

Produktparametrar

Serviceprocess

1. Förfrågan– Skicka delbilder / modell / kvantitet för utvärdering.

2. Offert– Teknisk utvärdering och detaljerat städförslag med offert.

3. Frakt– Skicka delar till oss eller ordna hämtning.

4. Städning– Professionell rengöring + full multidimensionell inspektion.

5. Rapportera– COA-rapport utfärdad och rengjorda delar returneras.

6. Uppföljning– Effektspårning och löpande teknisk support.

6. Varför välja VETEK Städservice?

VETEK kombinerar djup expertis inom CVD SiC-beläggningsteknik med specialiserade rengöringsmöjligheter för högvärdiga grafitsusceptorer. Vi förstår den kritiska vikten av beläggningsintegritet, partikelkontroll och processrenhet i GaN/AlN-epitaxi. Vår tjänst är designad för kunder som kräver absolut säkerhet för dyra CVD SiC-beläggningar samtidigt som de helt löser problem med minneseffekter och gasflödesinstabilitet.

· Provrengöring tillgänglig för verifiering i små partier

· Fullständig COA-rapport medföljer varje leverans

· Ingen risk för beläggningsskador eller ny förorening

· Professionell · Säker · Verifierbar