Nyheter

Kvartsmaterial med hög renhet spelar en viktig roll i halvledarindustrin. Deras överlägsna högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, termiska stabilitet och ljustransmissionsegenskaper gör dem till kritiska förbrukningsvaror. Kvartsprodukter används för komponenter i både högtemperatur- och lågtemperaturzoner av waferproduktion, vilket säkerställer stabiliteten och renheten i tillverkningsprocessen.

Med den globala energiomställningen, AI-revolutionen och vågen av den nya generationens informationsteknik har kiselkarbid (SiC) snabbt utvecklats från att vara ett "potentiellt material" till ett "strategiskt grundmaterial" på grund av dess exceptionella fysiska egenskaper.

I halvledarprocesser med hög temperatur är hanteringen, stödet och värmebehandlingen av wafers beroende av en speciell stödjande komponent - waferbåten. När processtemperaturerna stiger och kraven på renhet och partikelkontroll ökar, avslöjar traditionella kvartswaferbåtar gradvis problem som kort livslängd, höga deformationshastigheter och dålig korrosionsbeständighet.