Nyheter

Det finns många typer av mätutrustning i Fab Factory. Vanlig utrustning inkluderar litografiprocessmätningsutrustning, etsningsprocessmätningsutrustning, tunnfilmavlagringsprocessmätningsutrustning, dopningsprocessmätningsutrustning, CMP -processmätningsutrustning, skivpartikeldetekteringsutrustning och annan mätutrustning.

Tantalkarbid (TaC) beläggning kan avsevärt förlänga livslängden för grafitdelar genom att förbättra högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, mekaniska egenskaper och värmehanteringsförmåga. Dess höga renhetsegenskaper minskar föroreningar, förbättrar kristalltillväxtkvaliteten och förbättrar energieffektiviteten. Den är lämplig för halvledartillverkning och kristalltillväxtapplikationer i höga temperaturer och mycket korrosiva miljöer.

Tantal Carbide (TAC) -beläggningar används allmänt inom halvledarfältet, främst för epitaxial tillväxtreaktorkomponenter, enstaka kristalltillväxtkomponenter, komponenter med hög temperatur, moCVD-systemvärmare och kraftförmåga. Det är utmärkt hög temperaturmotstånd och korrosionsbeständighet kan förbättra utrustningen, utbyte och kristallkvalitet, minska energiföretag.

Under SIC -epitaxial tillväxtprocessen kan SIC -belagda grafitupphängningsfel uppstå. Detta dokument genomför en rigorös analys av felfenomenet för SIC -belagd grafitupphängning, som huvudsakligen inkluderar två faktorer: Sic epitaxial gasfel och SIC -beläggningsfel.