Nyheter

Lär dig hur VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) belagda grafitringar förbättrar termisk stabilitet, minskar kontaminering och förlänger komponenternas livslängd i SiC-kristalltillväxt, epitaxi, CVD och högtemperaturhalvledarprocesser.

Upptäck hur CVD TaC-beläggning förbättrar SiC-kristalltillväxt och halvledartillverkning med ultrahög termisk stabilitet, korrosionsbeständighet, föroreningsdämpning och överlägsen prestanda i MOCVD- och epitaxiapplikationer.

Ta en titt på viktiga Aixtron G10-komponenter för högtemperatur SiC epitaxisystem. Vi täcker CVD SiC-belagda grafitdelar, TaC-beläggningskomponenter och termiska fältstrukturer – och hur de hjälper till med processstabilitet, renhetskontroll och waferutbyte vid avancerad halvledartillverkning.