Nyheter

Kemisk mekanisk polering (CMP) tar bort överflödigt material och ytdefekter genom den kombinerade verkan av kemiska reaktioner och mekanisk nötning. Det är en nyckelprocess för att uppnå global planarisering av skivans yta och är oumbärlig för flerskiktskopparkopplingar och lågk-dielektriska strukturer. I praktisk tillverkning

År 2025 träffas den europeiska halvledarindustrin återigen på den största halvledarmässan SEMICON Europa i München 18-21 november

Silicon wafer CMP (Chemical Mechanical Planarization) poleringsslam är en kritisk komponent i halvledartillverkningsprocessen. Den spelar en avgörande roll för att säkerställa att kiselskivor – som används för att skapa integrerade kretsar (IC) och mikrochips – poleras till den exakta jämnhetsnivån som krävs för nästa produktionssteg

Inom halvledartillverkning spelar Chemical Mechanical Planarization (CMP) en viktig roll. CMP-processen kombinerar kemiska och mekaniska åtgärder för att jämna ut ytan på kiselskivor, vilket ger en enhetlig grund för efterföljande steg som tunnfilmsavsättning och etsning. CMP-poleringsslam, som kärnkomponenten i denna process, påverkar avsevärt poleringseffektiviteten, ytkvaliteten och produktens slutliga prestanda

Wafer CMP poleringsslam är ett speciellt formulerat flytande material som används i CMP-processen för tillverkning av halvledarprodukter. Den består av vatten, kemiska etsmedel, slipmedel och ytaktiva ämnen, vilket möjliggör både kemisk etsning och mekanisk polering.

Kiselkarbidslipmedel tillverkas vanligtvis med kvarts och petroleumkoks som primära råmaterial. I det förberedande skedet genomgår dessa material mekanisk bearbetning för att uppnå den önskade partikelstorleken innan de kemiskt proportioneras till ugnsladdning.