Som en ledande GaN-epitaxial Susceptor-leverantör och tillverkare i Kina är Vetek Semiconductor GaN Epitaxial Susceptor en högprecisionssceptor designad för GaN-epitaxial tillväxtprocess, som används för att stödja epitaxial utrustning såsom CVD och MOCVD. Vid tillverkning av GaN-enheter (såsom kraftelektroniska enheter, RF-enheter, lysdioder etc.) bär GaN-epitaxial susceptor underlaget och uppnår avsättning av hög kvalitet av GaN-tunna filmer under hög temperaturmiljö. Välkommen din ytterligare förfrågan.
GaN-epitaxial susceptor är utformad för den galliumnitrid (GaN) epitaxial tillväxtprocessen och är lämplig för avancerad epitaxial teknik såsom hög temperaturkemisk ångavsättning (CVD) och metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). Susceptor är tillverkad av hög renhet, högtemperaturbeständiga material för att säkerställa utmärkt stabilitet under hög temperatur och flera gasmiljöer, uppfylla de krävande processkraven för avancerade halvledarenheter, RF-enheter och LED-fält.
Dessutom har Vetek Semiconductors GaN Epitaxial Susceptor följande produktfunktioner:
● Materialkomposition
Grafit med hög renhet: SGL-grafit används som underlag, med utmärkt och stabil prestanda.
Kiselkarbidbeläggning:Ger extremt hög värmeledningsförmåga, stark oxidationsbeständighet och kemisk korrosionsbeständighet, lämplig för tillväxtbehovet hos högeffekt GAN-enheter. Det visar utmärkt hållbarhet och lång livslängd i hårda miljöer som hög temperatur CVD och MOCVD, vilket kan minska produktionskostnaderna och underhållsfrekvensen avsevärt.
● Anpassning
Anpassad storlek: Vetek Semiconductor stöder anpassad service enligt kundens behov, storleken påföretagareoch skivhål kan anpassas.
● Driftstemperaturområdet
Veteksemi Gan epitaxial susceptor kan motstå temperaturer upp till 1200 ° C, vilket säkerställer hög temperaturens enhetlighet och stabilitet.
Veteksemi har alltid varit engagerade i att förse kunderna med de mest lämpliga och utmärkta GaN-epitaxiala Susceptor-produkterna och ser fram emot att bli din långsiktiga partner. Vetek Semiconductor ger dig professionella produkter och tjänster som hjälper dig att uppnå större resultat inom epitaxindustrin.
Cvd sic film kristallstruktur
Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning
Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning
Egendom
Typiskt värde
Kristallstruktur
FCC ß -faspolykristallin, främst (111) orienterad
SIC -beläggningstäthet
3,21 g/cm³
SIC -beläggningshårdhet
2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
Kornstorlek
2 ~ 10mm
Kemisk renhet
99.99995%
Värmekapacitet
640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Böjhållfasthet
415 MPA RT 4-punkt
Young's Modulus
430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
Termisk konduktivitet
300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE)
4,5 × 10-6K-1
Det halvledareGan Epitaxial Susceptor Products Shops
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies. Sekretesspolicy