Sic beläggningssamlare botten

Vetek Semiconductor är tillverkare som är engagerad i att tillhandahålla hög kvalitetCVD TAC -beläggningoch CVD SIC -beläggningssamlare botten och arbetar nära med Aixtron -utrustning för att tillgodose våra kunders behov. Oavsett om du är i processoptimering eller ny produktutveckling är vi redo att ge dig teknisk support och svara på alla frågor du kan ha.

Produktkärna

Processstabilitetsgaranti

Temperaturgradientkontroll: ±1,5℃/cm@1200℃

Flödesfältoptimering: Den speciella kanaldesignen gör reaktionsgasfördelningen enhetlighet upp till 92,6%

Utrustningsskyddsmekanism

Dubbel skydd:

Termisk chockbuffert: Tistigheter 10 ℃/s snabb temperaturförändring

Partikelavlyssning: fångst> 0,3 um sedimentpartiklar

Inom banbrytande teknik

Hela processkvalitetskontroll

Produktionsspårbarhetssystem

Källa till råvaror: Tokai/Toyo -grafit från Japan, SGL -grafit från Tyskland

Digital tvillingövervakning: Varje komponent matchas med en oberoende processparameterdatabas

Applikationsscenario:

Tredje generationens halvledartillverkning

Scenario: 6-tums SIC-epitaxial tillväxt (100-150μm tjocklekskontroll)

Kompatibel modell: Aixtron G5 WW/Crius II

Genom att använda AIXTRON SIC -belagd samlar topp, samlarcenter och SIC -belagd samlare kan termisk hantering och kemiskt skydd i halvledarprocesser uppnås, filmtillväxtmiljön kan optimeras och filmens kvalitet och konsistens kan förbättras. Kombinationen av dessa komponenter i Aixtron -utrustning säkerställer stabila processförhållanden och effektiv halvledarproduktion.

SEM -data från CVD SIC -film