Branschnyheter

Ur appliceringsperspektivet av SiC-enkristalltillväxt, jämför denna artikel de grundläggande fysikaliska parametrarna för TaC-beläggning och SIC-beläggning, och förklarar de grundläggande fördelarna med TaC-beläggning framför SiC-beläggning i termer av hög temperaturbeständighet, stark kemisk stabilitet, minskade föroreningar och lägre kostnader.

Det finns många typer av mätutrustning i Fab Factory. Vanlig utrustning inkluderar litografiprocessmätningsutrustning, etsningsprocessmätningsutrustning, tunnfilmavlagringsprocessmätningsutrustning, dopningsprocessmätningsutrustning, CMP -processmätningsutrustning, skivpartikeldetekteringsutrustning och annan mätutrustning.

Tantalkarbid (TaC) beläggning kan avsevärt förlänga livslängden för grafitdelar genom att förbättra högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, mekaniska egenskaper och värmehanteringsförmåga. Dess höga renhetsegenskaper minskar föroreningar, förbättrar kristalltillväxtkvaliteten och förbättrar energieffektiviteten. Den är lämplig för halvledartillverkning och kristalltillväxtapplikationer i höga temperaturer och mycket korrosiva miljöer.

Tantal Carbide (TAC) -beläggningar används allmänt inom halvledarfältet, främst för epitaxial tillväxtreaktorkomponenter, enstaka kristalltillväxtkomponenter, komponenter med hög temperatur, moCVD-systemvärmare och kraftförmåga. Det är utmärkt hög temperaturmotstånd och korrosionsbeständighet kan förbättra utrustningen, utbyte och kristallkvalitet, minska energiföretag.