Branschnyheter

Tantal Carbide (TAC) -beläggningar används allmänt inom halvledarfältet, främst för epitaxial tillväxtreaktorkomponenter, enstaka kristalltillväxtkomponenter, komponenter med hög temperatur, moCVD-systemvärmare och kraftförmåga. Det är utmärkt hög temperaturmotstånd och korrosionsbeständighet kan förbättra utrustningen, utbyte och kristallkvalitet, minska energiföretag.

Under SIC -epitaxial tillväxtprocessen kan SIC -belagda grafitupphängningsfel uppstå. Detta dokument genomför en rigorös analys av felfenomenet för SIC -belagd grafitupphängning, som huvudsakligen inkluderar två faktorer: Sic epitaxial gasfel och SIC -beläggningsfel.

Den här artikeln diskuterar huvudsakligen respektive processfördelar och skillnader i molekylär strålepitaxiprocess och metallorganisk kemisk ångavsättningsteknik.

Vetek Semiconductors porösa Tantalum -karbid, som en ny generation av SIC -kristalltillväxtmaterial, har många utmärkta produktegenskaper och spelar en nyckelroll i en mängd olika halvledartekniker.

Arbetsprincipen för den epitaxiella ugnen är att avsätta halvledarmaterial på ett underlag under hög temperatur och högt tryck. Kiselens epitaxial tillväxt är att odla ett skikt av kristall med samma kristallorientering som substratet och olika tjocklekar på ett kiselstöd med enkristall med en viss kristallorientering. Den här artikeln introducerar huvudsakligen kiselens epitaxiella tillväxtmetoder: ångfasepitaxi och flytande fasepitaxi.

Kemisk ångavsättning (CVD) i halvledartillverkning används för att avsätta tunna filmmaterial i kammaren, inklusive SiO2, SIN, etc., och vanligtvis använda typer inkluderar PECVD och LPCVD. Genom att justera temperaturen, tryck- och reaktionsgastypen uppnår CVD hög renhet, enhetlighet och god filmtäckning för att uppfylla olika processkrav.