Branschnyheter

I halvledarprocesser med hög temperatur är hanteringen, stödet och värmebehandlingen av wafers beroende av en speciell stödjande komponent - waferbåten. När processtemperaturerna stiger och kraven på renhet och partikelkontroll ökar, avslöjar traditionella kvartswaferbåtar gradvis problem som kort livslängd, höga deformationshastigheter och dålig korrosionsbeständighet.

För industriell skalaproduktion av kiselkarbidsubstrat är framgången med en enda tillväxtkörning inte slutmålet. Den verkliga utmaningen ligger i att se till att kristaller som odlas över olika batcher, verktyg och tidsperioder upprätthåller en hög nivå av konsistens och repeterbarhet i kvalitet. I det här sammanhanget går tantalkarbidbeläggningens (TaC) roll utöver det grundläggande skyddet – det blir en nyckelfaktor för att stabilisera processfönstret och säkerställa produktutbytet.

​Kiselkarbid (SiC) PVT-tillväxt involverar allvarliga termiska cykler (rumstemperatur över 2200 ℃). Den enorma termiska spänningen som genereras mellan beläggningen och grafitsubstratet på grund av bristande överensstämmelse i värmeutvidgningskoefficienter (CTE) är kärnutmaningen när det gäller att avgöra beläggningens livslängd och appliceringstillförlitlighet.