Branschnyheter

Kiselkarbid (SIC) kristalltillväxtugnar spelar en viktig roll för att producera högpresterande SIC-skivor för nästa generations halvledarenheter. Processen med att växa SIC-kristaller av hög kvalitet utgör emellertid betydande utmaningar. Från att hantera extrema termiska gradienter till att minska kristalldefekter, säkerställa enhetlig tillväxt och kontrollera produktionskostnader kräver varje steg avancerade tekniska lösningar. Den här artikeln kommer att analysera de tekniska utmaningarna med SIC -kristalltillväxtugnar från flera perspektiv.

SMART CUT är en avancerad halvledartillverkningsprocess baserad på jonimplantation och skivstrippning, speciellt utformad för produktion av ultratunn och mycket enhetlig 3C-SIC (kubisk kiselkarbid). Det kan överföra ultratunna kristallmaterial från ett underlag till ett annat och därmed bryta de ursprungliga fysiska begränsningarna och ändra hela underlagsindustrin.

Vid framställningen av högkvalitativa och högavkastade kiselkarbidunderlag kräver kärnan exakt kontroll av produktionstemperaturen med goda termiska fältmaterial. För närvarande är de termiska fälten degelatser som huvudsakligen används hög renhetsgrafitstrukturella komponenter, vars funktioner är att värma smält kolpulver och kiselpulver samt att upprätthålla värme.

När du ser tredje generationens halvledare kommer du säkert att undra vad de första och andra generationerna var. "Generationen" här klassificeras baserat på materialen som används i halvledartillverkning.

Den elektrostatiska chucken (ESC), även känd som den elektrostatiska chucken (ESC, e-chuck), är en fixtur som använder principen för elektrostatisk adsorption för att hålla och fixa adsorberat material. Det är lämpligt för vakuum- och plasmiljöer.

SIC-skivbärare, som viktiga förbrukningsvaror i tredje generationens halvledarindustrikedja, påverkar deras tekniska egenskaper direkt utbytet av epitaxiell tillväxt och enhetstillverkning. Med den växande efterfrågan på högspännings- och högtemperaturanordningar inom branscher som 5G-basstationer och nya energifordon står nu forskningen och tillämpningen av SIC-skivbärare inför betydande utvecklingsmöjligheter.