MOCVD -epitaxial skiva tillhandahåller

MOCVD Epitaxial Wafer Susceptor är en högpresterande epitaxial wafer-susceptor designad för MOCVD (metallorganisk kemisk ångavsättning) utrustning. Susceptor är tillverkad av SGL -grafitmaterial och belagd med kiselkarbidbeläggning, som kombinerar den höga värmeledningsförmågan hos grafit med den utmärkta höga temperaturen och korrosionsbeständigheten hos SIC, och är lämplig för den hårda arbetsmiljön i hög temperatur, högt tryck och korrosivgas under den epitaxiala tillväxten av halvledare.

SGL -grafitmaterial har utmärkt värmeledningsförmåga, vilket säkerställer att temperaturen på den epitaxiella skivan är jämnt fördelad under tillväxtprocessen och förbättrar kvaliteten på det epitaxiala skiktet. Den belagda SIC -beläggningen gör det möjligt för Susceptor att motstå höga temperaturer på mer än 1600 ℃ och anpassa sig till den extrema termiska miljön i MOCVD -processen. Dessutom kan SIC-beläggningen effektivt motstå reaktionsgaser med hög temperatur och kemisk korrosion, förlänga livslängden för SUSCECTOR och minska föroreningar.

Veteksemis MOCVD -epitaxiala skiva -susceptor kan användas som en ersättning för tillbehör till leverantörer av MOCVD -utrustning såsom Aixtron.

● Storlek: Kan anpassas efter kundens behov (standardstorlek tillgänglig).

● Bär kapacitet: Kan bära flera eller till och med mer än 50 epitaxiala skivor åt gången (beroende på susceptorstorleken).

● Ytbehandling: SIC -beläggning, korrosionsbeständighet, oxidationsmotstånd.

● Halvledarindustrin: Används för tillväxt av epitaxiella skivor såsom lysdioder, laserdioder och krafthalvledare.

● Optoelektronikindustri: Stöder den epitaxiella tillväxten av högkvalitativa optoelektroniska enheter.

● Avancerad materialforskning och utveckling: Tillämpas på den epitaxiella beredningen av nya halvledare och optoelektroniska material.

Beroende på kundens MOCVD -utrustningstyp och produktionsbehov tillhandahåller Vetek Semiconductor anpassade tjänster, inklusive susceptorstorlek, material, ytbehandling etc. för att säkerställa att den mest lämpliga lösningen tillhandahålls till kunderna.

Cvd sic film kristallstruktur

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning

Det halvledare MOCVD Epitaxial Wafer Susceptor Shops