Aixtron satellitskivbärare

AIXTRON Satellite Wafer Carrier är en integrerad del av AIXTRON MOCVD -utrustning, speciellt används för att bära skivor för epitaxial tillväxt. Det är särskilt lämpligt förepitaxiell tillväxtProcess av GaN och Silicon Carbide (SIC) -enheter. Dess unika "satellit" -design säkerställer inte bara enhetligheten i gasflödet, utan förbättrar också enhetligheten i filmavlagring på skivytan.

Aixtron'sskivbärareär vanligtvis gjorda avkiselkarbid (sic)eller CVD-belagd grafit. Bland dem har kiselkarbid (SIC) utmärkt värmeledningsförmåga, hög temperaturmotstånd och låg termisk expansionskoefficient. CVD -belagd grafit är grafitbelagd med en kiselkarbidfilm genom en kemisk ångavlagringsprocess (CVD), vilket kan förbättra dess korrosionsbeständighet och mekaniska styrka. SIC och belagda grafitmaterial tål temperaturer upp till 1 400 ° C - 1 600 ° C och har utmärkt termisk stabilitet vid höga temperaturer, vilket är avgörande för den epitaxiella tillväxtprocessen.

Aixtron satellitskivbärare används främst för att bära och rotera skivor iMOCVD -processFör att säkerställa enhetligt gasflöde och enhetlig avsättning under epitaxiell tillväxt.De specifika funktionerna är följande:

● Skivrotation och enhetlig avsättning: Genom rotationen av Aixtron -satellitbäraren kan skivan upprätthålla en stabil rörelse under epitaxial tillväxt, vilket gör att gas kan flyta jämnt över skivytan för att säkerställa enhetlig avsättning av material.

● Hög temperaturbärande och stabilitet: Kiselkarbid eller belagda grafitmaterial tål temperaturer upp till 1 400 ° C - 1 600 ° C. Den här funktionen säkerställer att skivan inte kommer att deformeras under hög temperaturens epitaxial tillväxt, samtidigt som den termiska expansionen förhindrar att påverka den epitaxiala processen.

● Minskad partikelgenerering: Högkvalitativa bärarmaterial (såsom SIC) har släta ytor som minskar partikelproduktionen under ångavsättning och därmed minimerar möjligheten till föroreningar, vilket är avgörande för att producera halvledarmaterial av hög renhet, högkvalitativ.

Veteksemicons Aixtron Satellite Wafer Carrier finns i 100 mm, 150 mm, 200 mm och ännu större skivstorlekar och kan tillhandahålla anpassade produkttjänster baserat på dina utrustning och processkrav. Vi hoppas verkligen vara din långsiktiga partner i Kina.

SEM -data från CVD SIC -filmkristallstruktur：

Aixtron Satellite Wafer Carrier Production Shops: