Nyheter

Kvartprodukter används ofta i halvledartillverkningsprocessen på grund av deras höga renhet, högtemperaturresistens och stark kemisk stabilitet.

Kiselkarbid (SIC) kristalltillväxtugnar spelar en viktig roll för att producera högpresterande SIC-skivor för nästa generations halvledarenheter. Processen med att växa SIC-kristaller av hög kvalitet utgör emellertid betydande utmaningar. Från att hantera extrema termiska gradienter till att minska kristalldefekter, säkerställa enhetlig tillväxt och kontrollera produktionskostnader kräver varje steg avancerade tekniska lösningar. Den här artikeln kommer att analysera de tekniska utmaningarna med SIC -kristalltillväxtugnar från flera perspektiv.

SMART CUT är en avancerad halvledartillverkningsprocess baserad på jonimplantation och skivstrippning, speciellt utformad för produktion av ultratunn och mycket enhetlig 3C-SIC (kubisk kiselkarbid). Det kan överföra ultratunna kristallmaterial från ett underlag till ett annat och därmed bryta de ursprungliga fysiska begränsningarna och ändra hela underlagsindustrin.