Fokusring för etsning

Monokristallina kisel etsningsringar är väsentliga komponenter i halvledarens etsningsprocesser genom att upprätthålla plasmiljönsstabilitet, skydda utrustning och skivor, optimera resursanvändningen och anpassa sig till avancerade processkrav. Dess prestanda påverkar direkt utbytet och kostnaden för chiptillverkning.

Den etsade fokusringen, elektroden och etc (kanttemperaturkontroller) är kärnförbrukningsartiklar för att säkerställa plasma -enhetlighet, temperaturkontroll och processupprepning. Dessa komponenter monteras exakt i vakuumkammaren i CVD, etsning och filmutrustning och bestämmer direkt noggrannheten och utbytet av etsningen från kanten till mitten av skivan.

Som svar på den stränga efterfrågan på materialegenskaper i avancerade tillverkningsprocesser innoverar Veteksemi genom att använda monokristallint kisel med hög renhet med en resistivitet på 10-20Ω · cm för att tillverka fokuseringsringar och stödja förbrukningsvaror. Genom samarbetsoptimering av materialvetenskap, elektrisk design och termodynamik kan VeteKsemi tillverka fokuseringsringar och stödja förbrukningsvaror. Överskridande överträffar traditionella kvartslösningar för att uppnå genombrottsförbättringar i livslängd, noggrannhet och kostnadseffektivitet.

Kärnmaterialjämförelse och resistivitetsoptimering

Monokristallin kisel VS. Kvarts

Produktkärnae

1. Atomisk nivå processnoggrannhet

Resistivitetsoptimering + ultra-precisionspolering (RA <0,1 um) eliminerar mikroutladdning och partikelföroreningar för att uppfylla semi F47-standarder.

Den dielektriska förlusten (TANΔ <0,001) är starkt matchad med den skivdielektriska miljön, och undviker kant elektriskt fältförvrängning och stödja 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° vertikal djuphålets etsning.

2. Intelligent systemkompatibilitet

Integrerad med ETC -kanttemperaturkontrollmodulen justeras dynamiskt av kylningsluftflödet med termoelement och AI -algoritm för att kompensera termisk drift för kammar.

Support anpassat RF -matchningsnätverk, lämpligt för mainstream -maskiner som Amat Centura, Lam Research Kiyo och ICP/CCP Plasmakällor.

3.. Omfattande kostnadseffektivitet

Livet för monokristallint kisel är 275% längre än för kvarts, underhållscykeln är mer än 3 000 timmar och den omfattande ägandekostnaden (TCO) minskas med 30%.

Resistivitetsgradientanpassningstjänst (5-100Ω · cm), exakt matchande fönstret Kundprocess (såsom GaN/Sic Wide Band Gap Material Etching).

Effekten av resistivitet

Produktsiella villkor

Minsta beställningskvantitet	1 uppsättning
Pris	Kontakt för anpassad offert
Förpackningsuppgifter	Standard exportpaket
Leveranstid	Leveranstid: 30-35 dagar efter orderbekräftelse
Betalningsvillkor	T
Leveransförmåga	600 uppsättningar/månad