Nyheter

Kvartsbåt är en viktig bärande komponent som används i halvledartillverkningsprocessen. Det används huvudsakligen för hög temperaturbehandling av skivor, såsom diffusion, oxidation och glödgning. Dess utmärkta termiska stabilitet, låga föroreningsegenskaper och korrosionsbeständighet gör det till ett oundgängligt material i halvledarindustrin. Den här artikeln kommer att utarbeta material, fysiska egenskaper, klassificering, applikationsscenarier för kvartsbåt och dess skillnader från PECVD -grafitbåt.

Kärnmaterialet i PECVD-grafitbåt är isotropiskt grafitmaterial med hög renhet (renhet är vanligtvis ≥99.999%), vilket har utmärkt elektrisk konduktivitet, värmeledningsförmåga och densitet. Jämfört med vanliga grafitbåtar har PECVD -grafitbåtar många fysiska och kemiska egenskapsfördelar och används främst inom halvledar- och fotovoltaiska industrier, särskilt i PECVD- och CVD -processer.

MOCVD -grafitbrickor spelar en viktig roll i den epitaxiella processen. Den här artikeln gör en detaljerad analys av valet av MOCVD -grafitbrickor ur perspektiv på materialegenskaper och applikationsscenarier.