Branschnyheter

Den elektrostatiska chucken (ESC), även känd som den elektrostatiska chucken (ESC, e-chuck), är en fixtur som använder principen för elektrostatisk adsorption för att hålla och fixa adsorberat material. Det är lämpligt för vakuum- och plasmiljöer.

SIC-skivbärare, som viktiga förbrukningsvaror i tredje generationens halvledarindustrikedja, påverkar deras tekniska egenskaper direkt utbytet av epitaxiell tillväxt och enhetstillverkning. Med den växande efterfrågan på högspännings- och högtemperaturanordningar inom branscher som 5G-basstationer och nya energifordon står nu forskningen och tillämpningen av SIC-skivbärare inför betydande utvecklingsmöjligheter.

Alumina keramik är "arbetshäst" för tillverkning av keramiska komponenter. De uppvisar utmärkta mekaniska egenskaper, ultrahöga smältpunkter och hårdhet, korrosionsbeständighet, stark kemisk stabilitet, hög resistivitet och överlägsen elektrisk isolering. De används ofta för att tillverka poleringsplattor, vakuumchuckar, keramiska armar och liknande delar.