Branschnyheter

I den höga insatsvärlden av halvledarskapning är precision och stabilitet allt-och det är där den elektrostatiska chucken (ESC) går in. Mycket mer än bara ett hållverktyg använder ESC elektrostatiska krafter för att säkert klämma fast under kritiska processer som etsning, deponering och jon implantation. Men hur fungerar det faktiskt? Varför är det överlägset traditionell mekanisk klämma? Och vilken roll spelar den för att uppnå nanoskala noggrannhet och genomströmningseffektivitet? Välkommen att läsa.

Dechuck -principen för den elektrostatiska chucken är en viktig del av dess arbetsflöde som involverar elektrostatisk kraftig eliminering och skivfrisättningsmekanismer.

Glassy kol är ett icke-grafiterat kol som kombinerar egenskaperna hos glas och keramik. Den har många egenskaper såsom hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet, god elektrisk konduktivitet, etc. Denna blogg analyserar forskningshistorien och framtida utvecklingstrend för glasartat kol, vilket är värt att läsa.