Branschnyheter

Sic -keramik är ett keramiskt material som produceras genom reaktionen av kisel (Si) och kol (C) element, med extremt hög hårdhet, värmebeständighet och kemisk stabilitet

I den höga insatsvärlden av halvledarskapning är precision och stabilitet allt-och det är där den elektrostatiska chucken (ESC) går in. Mycket mer än bara ett hållverktyg använder ESC elektrostatiska krafter för att säkert klämma fast under kritiska processer som etsning, deponering och jon implantation. Men hur fungerar det faktiskt? Varför är det överlägset traditionell mekanisk klämma? Och vilken roll spelar den för att uppnå nanoskala noggrannhet och genomströmningseffektivitet? Välkommen att läsa.

Dechuck -principen för den elektrostatiska chucken är en viktig del av dess arbetsflöde som involverar elektrostatisk kraftig eliminering och skivfrisättningsmekanismer.