SIC -beläggning halvmånefrafikdelar

I reaktionskammaren i SiC-epitaxialtillväxtugnen är delarna av SiC-beläggningen Halfmoon-grafit nyckelkomponenter för att optimera gasflödesfördelning, termisk fältkontroll och enhetlighet i reaktionsatmosfären. De är vanligtvis gjorda av SiC-beläggninggrafit, utformad i en halvmåneform, belägen i de övre och nedre grafitdelarna i reaktionskammaren, omger underlagsområdet.

    •Övre halvmoongrafitdel: installerad i den övre delen av reaktionskammaren, nära gasinloppet, ansvarig för att styra reaktionsgasen att strömma mot substratytan.

    •Nedre halvmoongrafitdel: placerad i botten av reaktionskammaren, vanligtvis under substrathållaren, som används för att styra gasflödesriktningen och optimera det termiska fältet och gasfördelningen i botten av substratet.

UnderSiC epitaxiprocess, hjälper den övre halvmånegrafitdelen till att styra gasflödet så att det fördelas jämnt på substratet, vilket förhindrar att gasen direkt påverkar substratytan och orsakar lokal överhettning eller luftflödesturbulens. Den nedre halvmånegrafitdelen tillåter gasen att strömma jämnt genom substratet och sedan släppas ut, samtidigt som turbulens förhindras från att påverka det epitaxiella skiktets tillväxtlikformighet.

När det gäller reglering av termisk fält, hjälper SiC-beläggning Halfmoon grafitdelar till att jämnt fördela värmen i reaktionskammaren genom form och position. Den övre halvmånegrafitdelen kan effektivt reflektera värmarens strålningsvärme för att säkerställa att temperaturen ovanför substratet är stabil. Den nedre halvmånegrafitdelen har också en liknande roll, och hjälper till att jämnt fördela värmen under substratet genom värmeledning för att förhindra alltför stora temperaturskillnader.

SIC -beläggningen gör komponenterna resistenta mot höga temperaturer och termiskt ledande, så Vetek Semiconductors Halfmoon -delar har en lång livslängd. Omsorgsfullt utformad kan våra halvmåne grafitdelar för SIC-epitaxi sömlöst integreras i många epitaxiella reaktorer, vilket hjälper till att förbättra den totala effektiviteten och tillförlitligheten i halvledartillverkningsprocessen. Oavsett vad din SIC -beläggning Halfmoon grafitdelar behöver, vänligen kontakta Vetek Semiconductor.

VeteksemSic Coating Halfmoon Graphite Parts Shops: