Branschnyheter

Genom kontinuerlig teknisk framsteg och djupgående mekanismforskning förväntas 3C-SIC heteroepiTaxial Technology spela en viktigare roll i halvledarindustrin och främja utvecklingen av högeffektiva elektroniska apparater.

Spatial ALD, rumsligt isolerad atomskiktsdeposition. Skivan rör sig mellan olika positioner och exponeras för olika prekursorer vid varje position. Figuren nedan är en jämförelse mellan traditionell ALD och rumsligt isolerad ALD.

Nyligen har det tyska forskningsinstitutet Fraunhofer IISB gjort ett genombrott i forskningen och utvecklingen av tantalkarbidbeläggningstekniken och utvecklat en spraybeläggningslösning som är mer flexibel och miljövänlig än CVD -avsättningslösningen och har kommersialiserats.