Branschnyheter

Bland de tillgängliga teknologierna har SiC-kristalltillväxtugnen i stor storlek uppstått som en kritisk lösning för att producera SiC-kristaller med stor diameter och låg defekt med förbättrad konsistens och effektivitet. Den här artikeln utforskar hur denna teknik fungerar, dess fördelar, tillämpningar och varför branschledare litar på innovativa lösningar från Veteksemi.

En SiC-belagd grafitsusceptor för ASM är inte bara en ersättningsdel inuti ett epitaxisystem. Det är en processkritisk bärare som påverkar termisk enhetlighet, waferrenhet, beläggningshållbarhet, kammarstabilitet och långsiktiga produktionskostnader.

Ett CVD TaC Coating Cover är inte bara ett skyddande lock eller en belagd grafitkomponent. I högtemperaturhalvledarprocesser kan det påverka kammarens renhet, termisk stabilitet, dellivslängd och processkonsistens.