Branschnyheter

Kemisk mekanisk polering (CMP) tar bort överflödigt material och ytdefekter genom den kombinerade verkan av kemiska reaktioner och mekanisk nötning. Det är en nyckelprocess för att uppnå global planarisering av skivans yta och är oumbärlig för flerskiktskopparkopplingar och lågk-dielektriska strukturer. I praktisk tillverkning

Silicon wafer CMP (Chemical Mechanical Planarization) poleringsslam är en kritisk komponent i halvledartillverkningsprocessen. Den spelar en avgörande roll för att säkerställa att kiselskivor – som används för att skapa integrerade kretsar (IC) och mikrochips – poleras till den exakta jämnhetsnivån som krävs för nästa produktionssteg

Inom halvledartillverkning spelar Chemical Mechanical Planarization (CMP) en viktig roll. CMP-processen kombinerar kemiska och mekaniska åtgärder för att jämna ut ytan på kiselskivor, vilket ger en enhetlig grund för efterföljande steg som tunnfilmsavsättning och etsning. CMP-poleringsslam, som kärnkomponenten i denna process, påverkar avsevärt poleringseffektiviteten, ytkvaliteten och produktens slutliga prestanda