Branschnyheter

Arbetsprincipen för den epitaxiella ugnen är att avsätta halvledarmaterial på ett underlag under hög temperatur och högt tryck. Kiselens epitaxial tillväxt är att odla ett skikt av kristall med samma kristallorientering som substratet och olika tjocklekar på ett kiselstöd med enkristall med en viss kristallorientering. Den här artikeln introducerar huvudsakligen kiselens epitaxiella tillväxtmetoder: ångfasepitaxi och flytande fasepitaxi.

Kemisk ångavsättning (CVD) i halvledartillverkning används för att avsätta tunna filmmaterial i kammaren, inklusive SiO2, SIN, etc., och vanligtvis använda typer inkluderar PECVD och LPCVD. Genom att justera temperaturen, tryck- och reaktionsgastypen uppnår CVD hög renhet, enhetlighet och god filmtäckning för att uppfylla olika processkrav.

Den här artikeln beskriver huvudsakligen de breda tillämpningsutsikterna för kiselkarbid keramik. Den fokuserar också på analysen av orsakerna till sintringsprickor i kiselkarbidkeramik och motsvarande lösningar.

Etsningsteknik inom halvledartillverkning stöter ofta på problem som belastningseffekt, mikrospåreffekt och laddningseffekt, vilket påverkar produktkvaliteten. Förbättringslösningar inkluderar optimering av plasmadensitet, justering av reaktionsgassammansättning, förbättring av vakuumsystemets effektivitet, utformning av rimlig litografisk layout och val av lämpliga etsmaskmaterial och processförhållanden.

Varmpressning sintring är den viktigaste metoden för att framställa högpresterande SIC-keramik. Processen med varm pressning sintring inkluderar: att välja SiC-pulver med hög renhet, pressning och gjutning under hög temperatur och högt tryck och sedan sintring. SIC -keramik framställd med denna metod har fördelarna med hög renhet och hög densitet och används allmänt i slipskivor och värmebehandlingsutrustning för skivbehandling.